ASML客岁末向英特尔委派了业界首台High-NA EUV光刻机，业界准备从EUV迈入High-NA EUV时间。不外ASML如故驱动对下一代Hyper-NA EUV技能进行接头，寻找合适的惩办有筹商 爱游戏APP登录官网首页，筹议在2030年摆布提供新一代Hyper-NA EUV光刻机。

据Trendforce报谈，Hyper-NA EUV光刻机的价钱预测达到惊东谈主的7.24亿好意思元，致使可能会更高。咫尺每台EUV光刻机的价钱约为1.81亿好意思元，High-NA EUV光刻机的价钱好像为3.8亿好意思元，是EUV光刻机的两倍多。如若情况属实，意味着Hyper-NA EUV光刻机的价钱也会在High-NA EUV光刻机的基础上翻倍。购买早先进的修复触及不菲的用度开销，让台积电（TSMC）、和英特尔变得心神抵赖。

由于High-NA EUV光刻机较高的订价，如故让台积电变得愈加严慎，筹议尽可能地让现存EUV光刻机最大戒指地发扬性能，通过适合地升级现存用具、更多地聘用多重曝光等技能技能，以减弱采购新修复的投资压力。此前台积电如故公开抒发了对High-NA EUV光刻机使用本钱的担忧，暗示聘用新技能的决定取决于最大经济效益和可已毕技能之间的均衡，并远离表露引入High-NA EUV技能的时刻表。本年台积电推出了A16工艺，在外界看来，一定进度上是为了延后启用新修复的时刻。

三星也在研讨High-NA EUV光刻机，不外跟着Hyper-NA EUV光刻机的时刻表变得昭彰，可能弃取革新其永久阶梯图。有业内东谈主士表露，关于触及1nm以下的工艺，咫尺弃取High-NA EUV可能不是最好弃取，其中一种可行性是最大戒指地应用手上的EUV修复，跳过High-NA EUV，径直过渡到Hyper-NA EUV。

固然英特尔是首个购入High-NA EUV光刻机的客户，然而客岁其代工业务耗损了70亿好意思元，本年第一季度致使耗损还扩大了。如若贸然采购下一代EUV光刻修复，很可能会靠近严峻的财务挑战。